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可變形反射鏡

可變形反射鏡(Deformable_Mirror)是自適應光學系統中的核心部件之一,它擔負著校正由內、外因素引人的波前誤差的任務,并補償由光路中各種因素引起的成像質量降低的問題,即校正器。按照驅動方式的不同,可變形反射鏡分為:(1)壓電式;(2)電磁式;(3)電致伸縮式;(4)液壓式。微電子機械系統(MEMS),是20世紀80年代迅速發展起來的一門綜合性新興學科。微電子機械系統包括微能源、微驅動器、微傳感器、微控制器和微操作器等,集成于一個微小的空間,實現一種或多種設定的功能。MEMS技術代表著最為先進的制造技術,利用MEMS技術制造的可變形反射鏡,是可變形反射鏡的發展支撐。


可變形反射鏡不僅可作為自適應光學系統的核心部件,在天文望遠鏡以及詳查相機上得到了應用,近幾年來還成功地在光束凈化、光束整形、激光腔內像差校正以及醫學人眼像差的檢測與校正等多方面都得到了應用。