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应用中心 —— 光束匀化相关产品

对不同的激光的光束质量(M2),需要选择不同的光束匀化解决方案。


一, 对于M^2>10的激光器。

1,微透镜阵列:我们可以提供复眼透镜(微透镜阵列)来进行匀化。组成:单片或双片透镜阵列。输出光斑形状:为长/正方形或六边形。

秒速时时彩开户2,鼓型透镜阵列 :鼓型透镜常用于半导体光刻机,或LCD光刻机,PCB光刻机中对光源进行匀化,其由一片透镜组成。 


二, 对于M^2< 10的激光器,微透镜阵列会产生很多干涉亮斑,所以不是最理想的选择。

1,高透过率diffuser:针对这类激光器,我们可以提供一种新型的PRIME beamshaper(单片镜片)。PRIME的特点是,对光斑尺寸不敏感,对光斑位置不敏感,对放置位置不敏感,从而使的调试变得非常简单,同时也减轻了M^<10的激光器配合复眼透镜使用时会出现的过多干涉亮斑。组成:单片镜片。输出光斑形状:可以根据客户的要求设计成各种形状。

2,方形光纤:较传统的圆形光纤,方形/八边形光纤具有更高的耦合效率,极低的焦比退化,和出色的扰模匀化效果。普通的高斯分布激光,通过此类光纤后,可得到平顶光,光斑能量极为均匀。传输波长范围可覆盖160nm~2500nm,多种芯径和数值孔径(NA)可选。


三, 对于M^2~1(接近高斯光束)的单模激光,

我们可以提供一种和光束整形透镜,用来实现平顶分布。这种器件的相对于一般的光束整形元件而言,具有体积小(单片透镜),成本低,方便安装等优势。组成:单片镜片。输出光斑:可根据客户选择进行设计。

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