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旋轉平臺

氣浮旋轉臺壓電旋轉平臺高精度壓電馬達角位移臺(偏擺臺)光纖機械搖臂(天文望遠鏡光譜儀用) 顯示全部
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氣浮旋轉臺

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可定制化高精度氣浮轉臺

所屬類別:位移臺/偏轉鏡/隔振臺 ? 旋轉平臺

所屬品牌:

產品負責人:

姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

郵箱:wentao-li@wkbaza.com


高精度可定制氣浮轉臺

可根據客戶要求進行定制                         

AURT系列氣浮旋轉臺采用經過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優化。與傳統的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差

上海昊量光電設備有限公司推出的氣浮旋轉平臺主要分為AURT-S和AURT-U兩個系

1)AURT-S系列氣浮旋轉平臺在緊湊的體積中包含頂級的空氣軸承,電機和編碼器,可實現出色的角度定位和速度穩定性,大孔徑便于滑環的集成、光學或其它需要光路直通的應用;例如X射線光學檢測應用。AURT-S系列包含以下五款產品。

①AURT-075S和AURT-100S兩款氣浮轉臺是AURT-S系列中最緊湊的產品。這兩款空氣軸承轉臺不但擁有緊湊的體積還可以提供優異的運動精度和性能。 可完美的用在小型設備和多軸運動系統的θ軸。該氣浮轉臺輕巧緊湊的設計是高動態和精確定位應用中的完美解決方案。

②AURT-150S是一款中檔的旋轉平臺,具有出色的載重能力和低誤差的運動性能。低高度和大孔徑使該旋轉臺成為測量和檢測應用中的首要選擇。

③AURT-250S和AURT-500S是兩款大剛度大載重量的氣浮旋轉臺。AURT-250S氣浮轉臺負載能力達到80kg,該平臺在軸向和徑向擁有極小的誤差,和極高的平穩度。AURT-500S是一款超大載重量的空氣軸承轉臺,載重量高達8300N,并且擁有極低的運動誤差,集成一個高分辨率編碼器可實現穩定的定位和速度跟蹤。

2)AURT-U系列氣浮轉臺是同類產品中性能最優的產品。具有超低的運動誤差(低于20nm)和世界一流的運動性能。追求完美的設計融合了無與倫比的性能,是同類產品中最優秀的產品。該系列的代表產品是AURT-150U,是款頂級的超精密氣浮旋轉平臺,具有世界一流運動性能和超低的運動誤差(20nm)

此外提供高精度的復雜運動和定位方案:

提供不同應用中需要的定位平臺、控制器和相關軟件


  • ?整體解決方案 

  • ?定制化解決方案 

  • ?復雜的多軸與并聯運動系統 

  • ?超精密空氣與機械軸承 

  • ?軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……


產品特點:

l   優異的重復精度

l   超低軸向、徑向誤差

l   采用空氣軸承,無需維護

l   超高運動平穩度

l   可按客戶要求進行定制

主要應用

l   圓度測量系統

l   微米或納米斷層掃描成像

l   精密制造

l   同步輻射或X射線

l   半導體行業

  • 產品參數:

Air Bearing


Units

AURT075S

AURT100S

AURT150S

AURT250S

AURT500S

AURT150U

max。 axial load

N

137

206

434

804

8300

726

max. radial load

N

51

78

226

452

2570

264

axial stiffness

N/μm

68

103

217

402

1660

242

radial stiffness

N/μm

25

39

113

226

514

88

tilt stiffness

Nm/mrad

33

90

455

2380

37。4

204

rad. err. motion

nm LSC

<100

<100

<100

<100

<100

<20

axial err. motion

nm LSC

<50

<50

<50

<50

<50

<20

air consumption

NL/min

<4

<8

<10

<15

<100

<20

angular accuracy

arcsec

±13.8

±10.3

±6。9

±4.0

±2.9

±6.9

Motor & Encoder

nominal torque

Nm

0.04

0.13

0。45

1.5

3.0

0。5

peak torque

Nm

0。13

0.40

1.35

4。5

9.0

1.5

max. speed

rpm

300

200-1200

200-800

120

60

200

encoder

periods

11840

15744

23600

40000

47200

23600





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