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精密定位平臺/掃描臺

顯微鏡載物臺(電動/壓電)缅甸锦利国际亞納米/納米平移臺(壓電直推型,0-1500μm行程)納米平移臺(壓電馬達型,10-1500mm行程)亞微米平移臺(直線/步進電機,20-1000mm行程)大行程二維電控載物臺超小型平移臺(亞微米,15mm,已集成電路)超低振動亞微米平移臺(氣體軸承,1500mm,10-1000KG)高精度微型六維位移臺壓電旋轉平臺高精度壓電馬達角位移臺(偏擺臺)高精度壓電馬達夾爪快速反射鏡皮米精度位移測量儀納米級電容位移傳感器 顯示全部
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超低振動亞微米平移臺(氣體軸承,1500mm,10-1000KG)

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大行程,高重復精度氣體軸承位移臺!

所屬類別:位移臺/偏轉鏡/隔振臺 ? 精密定位平臺/掃描臺

所屬品牌:

產品負責人:

姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

郵箱:wentao-li@wkbaza.com


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    姓名:李工(William)

    電話:156 1809 2363(微信同號)

    郵箱: wentao-li@auniontech。com

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空氣軸承位移平臺

可根據客戶要求定制不同類型的位移平臺


LT系列位移平臺采用經過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優化。與傳統的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。此外位移平臺采用直線電機直接驅動,無須螺桿或齒輪進行傳動實現了非常平滑的無干擾的高精度的運動。通過使用天然大理石為平移臺移動的桌面,可以實現非常高的重復定位精度。從而使位移平臺擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

上海昊量光電設備有限公司推出的空氣軸承位移平臺可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺,在可提供大行程的同時,精度可達到300nm,平移臺擁有優異的分辨率,重復精度可達到100nm。

此外提供高精度的復雜運動和定位方案:

提供不同應用中需要的定位平臺、控制器和相關軟件


?整體解決方案

 ?定制化解決方案 

?復雜的多軸與并聯運動系統 

?超精密空氣與機械軸承

?軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……


產品特點:

l   優異的重復精度

l   超大行程

l   采用空氣軸承,無需維護

l   可按客戶要求進行定制

 

主要應用

l   高性能掃描

l   光學檢測系統

l   超精密研磨和切削

l   光伏系統

l   醫療系統

l   同步輻射或X射線

l   激光加工

l   半導體行業

l   晶體處理


產品參數:

 


Units

LS100

LS200

LS300

LS400

LS500

LS1000

LS1500

travel

mm

100

200

300

400

500

1000

1500

load capacity

kg

>65

>65

>65

>65

>65

>65

>65

accuracy

μm

±0.3

±0。5

±0。5

±0.5

±0.5

±1。0

±1.0

repeatability

μm

±0.1

±0。15

±0.15

±0.2

±0.2

±0.4

±0。4

flatness

μm

±0.2

±0.4

±0.5

±1

±1.5

±3

±5

pitch

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

roll

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

yaw

μrad

±4

±8

±12

±13

±14

±29

±39

 



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產品標簽:空氣軸承位移臺,大行程位移臺,高精度位移平臺,氣體軸承位移臺,精密空氣軸承平移臺,氣浮平臺,氣浮線性位移臺,空氣軸承平臺,空氣軸承線性平臺,大行程位移臺,高精度位移平臺,氣體軸承位移臺,精密空氣軸承平移臺,定制型位移平臺

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