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激光干涉儀

λ/1000超高精度激光干涉儀!高分辨率激光干涉儀皮米精度位移測量儀 顯示全部
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高分辨率激光干涉儀

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高分辨率激光干涉儀 便攜式、高分辨率、高動態范圍激光干涉儀!

所屬類別:光學檢測設備 ? 激光干涉儀

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姓名:陳工(Jack)

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高分辨率激光干涉儀


便攜式、高分辨率、高動態范圍激光干涉儀!


超分辨剪切干涉儀(High-resolution Interferometer)是一款便攜式、高靈敏度、高精度的波前分析儀。超分辨剪切干涉儀基于波前分析的四波剪切干涉技術,與傳統干涉儀相比較具有結構緊湊,使用方便,無需標準件,優秀的檢測穩定性,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點),3D顯示等優點。


關鍵詞:干涉儀、激光干涉儀、球面干涉儀、激光平面干涉儀、干涉光刻、傳函儀、白光干涉儀、Zygo、波前分析儀、波前傳感器、邁克爾遜干涉儀、便攜式干涉儀、光學傳函儀


超分辨激光干涉儀基于便攜式、高靈敏度、高精度波前分析儀。該激光干涉儀采用四波剪切干涉技術,與傳統干涉儀相比較具有結構緊湊,使用方便,無需標準件,優秀的檢測穩定性,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點)、激光波長覆蓋400-1100nm、消色差、高動態范圍(500um)等優點。

 

超分辨剪切干涉儀可用于激光波前檢測、激光強度檢測、等離子體密度檢測、透鏡檢測、高功率激光自適應光刻機檢測、精密光學元器件檢測、光學系統裝調、鏡頭模組檢測、傳遞函數MTF)檢測等。法國Phasics公司超分辨剪切干涉儀并可實時檢測為客戶提供優化的數據支持。


產品特點:

1、直接測量、無需標準件



圖一、檢測光路



2、高靈敏度(是普通白光干涉儀的8.4倍)、對振動不敏感


圖二 與傳統的干涉儀檢測結果對比


3、三維立體顯示


圖三、波前三維檢測視圖


4、實時顯示澤尼克系數


圖四、多階澤尼克顯示界面


5、傳遞函數(MTF)檢測


圖五、傳遞函數檢測界面


干涉儀應用領域:


? 激光光束性能、波前畸變、M^2、強度等的檢測

? 紅外透鏡檢測

? 激光、天文、顯微、眼科等復雜自適應光學系統波前像差檢測

? 光刻機物鏡檢測

? 大口徑高精度光學元器件檢測

? 透鏡、鏡頭模組檢測

? 傳遞函數測量

? 等離子體密度檢測

? 高功率激光自適應




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