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精密定位平臺/掃描臺

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高精度壓電馬達角位移臺(偏擺臺)

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高精度壓電馬達角位移臺

所屬類別:缅甸锦利国际位移臺/偏轉鏡/隔振臺 ? 精密定位平臺/掃描臺

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產品負責人:

姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

郵箱:wentao-li@wkbaza.com


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高精度角位移臺

 

角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等,是用在在小角度內精確旋轉物體的平臺,它提供的不是線性運動而是繞著空間固定一點進行旋轉。

AU-SGO系列壓電馬達角位移臺由壓電馬達驅動,使用高精度交叉滾珠軸承,可提供極高的分辨率,并且行程可達到±5°,非常適用于微米或納米定位。該平臺可提供不同的旋轉半徑。主要包括以下產品。


AUSGO-60。5

AUSGO-77.5

AUSGO-93。5

Picture

Travel   [°]

±5

±5

±5

Max。   Normal Force [N]

5

5

5

Center   of Rotation [mm]

 (above working platform)

60.5  

77.5  

93.5   

Closed-Loop   Resolution [μrad]

0。03

0.03

0.03

Closed-Loop   Repeatability, Full Stroke MCS2 [μrad]

0.12

0。12

0.12

此外可以將兩個合適半徑的平臺組合在一起組成歐拉角位移臺,此外還可以與線性平臺組合組成多維運動系統。 另外該平臺還可以用于不同的環境下,例如真空和超高真空環境。

應用實例:

1、  具有六個自由度的定位系統(X;Y;Z;a;b;Zθ

角位移臺可以與我們的其它運動模塊組合組裝為多維運動系統,如下圖所示,與兩個線性平臺和升降臺組裝成XYZ平臺,在XYZ系統的頂部安裝了兩個測角儀SGO-60.5和SGO-77.5,以及一個SR-5014旋轉臺,由于外部尺寸和安裝孔匹配,三個旋轉階段具有相同的旋轉中心(由綠色球體表示)。


主要特點

l  高精度(0.03μrad)

l  可在真空和非磁環境





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產品標簽:Goniometer stage,Goniometer臺,壓電角位臺,納米角位臺,角位臺,電動角位臺,電動角位移臺,歐拉角位移臺,傾角臺,電動傾角臺,角位滑臺,角度位移臺,擺動滑臺,擺動位移臺,α軸擺動平臺,αβ 軸擺動平臺

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