缅甸锦利国际


  首頁  產品信息 光學檢測設備 膜厚測量儀 多波長橢偏儀(僅需25萬!)

膜厚測量儀

激光干涉膜厚測量儀多波長橢偏儀(僅需25萬!) 顯示全部
dow.png

多波長橢偏儀(僅需25萬!)

  • 產品圖片
  • 微信好友

  • QQ好友

  • QQ空間

  • 新浪微博

超高性價比多波長橢偏儀!

所屬類別:光學檢測設備 ? 膜厚測量儀

所屬品牌:

產品負責人:

姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

郵箱:wentao-li@wkbaza.com


  • 產品詳情
  • 數據單及文獻下載
  • 相關應用
  • 詢問表格
  • 聯系方式

    產品負責人:缅甸锦利国际

    姓名:李工(William)

    電話:156 1809 2363(微信同號)

    郵箱: wentao-li@wkbaza.com 缅甸锦利国际

    微信二維碼

多波長橢偏儀


AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對樣品進行光學表征。在該系統中由偏振態發生器(PSG)發射已知偏振態的光斜入射到樣品上,然后偏振態檢測器(PSD)檢測反射光的偏振狀態。如下圖所示

由樣品引起的發射光偏振態的變化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值決定。比值為復數,如下圖所示: 其中tan(Y)定義了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小,D定義了P偏振光和S偏振光的相位差。

由于該方法測量的是一個比值,因此對光的強度的變化,以及樣品缺陷造成的散射不敏感,并且在每個波長測量兩個參量可獲得兩個常量例如:薄膜厚度和折射率,此外D對薄膜厚度非常敏感,可以使薄膜厚度測量精度到0埃。


上海昊量光電推出的多波長橢偏儀采用長壽命的LED光源,可分別提供465nm、525nm、580nm和635nm四種不同波長,并使用無移動部件的橢圓偏振檢測器,緊湊的系統提供快速可靠的薄膜測量。

通過1秒的測量可以精確的測量0-1000nm的大多數透明薄膜的厚度。并可以獲得n和k等光學常量。

相比于單波長橢偏儀,多波長橢偏儀可測定薄膜厚度,對于透明薄膜測量厚度至少可達1μm,不存在厚度周期性問題;可確定樣品其它其它參數特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等;對數據分析提供檢測依據,一個良好的分析模型應該適用于不同波長的數據;對于非常薄的薄膜(<20nm)多波長橢偏儀提供的數據信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。

 

 

應用案例:

原位測量:

                          AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber                                                              AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber


選配件:

1聚焦選項:將樣品上的光束縮小至0。8 x 1。9 mm 或0。3 x 0。7 mm

2、聚焦束檢驗選項

    3、自動成像系統

產品特點

  •  多波長

  • 橢偏檢測器中無移動部件

  • 優異的測量精度(優于0.001nm)

  • 可原位測量

     



數據單下載

展示全部 dow.png

詢問表格

* 號為必填內容
  • *
  • *
  • *
  • *

產品標簽:橢偏儀,膜厚測量儀,多波長橢偏儀,橢偏測量儀,橢偏膜厚儀,單波長橢偏儀

預約試用

* 號為必填內容
請在下載前填寫下面表單
Please fill in the form in before you download
  • *
  • *
  • *
  • *