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激光干涉儀

λ/1000超高精度激光干涉儀!高分辨率激光干涉儀皮米精度位移測量儀 顯示全部
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皮米精度位移測量儀

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50pm的重復精度,絕對位置測量,低至納米尺度位移測量的理想儀器

所屬類別:光學檢測設備 ? 激光干涉儀

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產品負責人:

姓名:谷工(Givin)

電話:185 1625 1863(微信同號)

郵箱:zonghao-gu@wkbaza.com


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皮米精度位移測量儀

昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器,達到了前所未有50pm的重復精度。quDIS支持三個測量通道,使其可以適用于任意多軸測量應用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法,不過與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過激光波長調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現其它設備所不具有的絕對距離測量。因此,皮米精度位移測量儀不僅可以獲位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中得到

干涉傳感頭

根據反射目標的不同,所有應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖缅甸锦利国际的,除了標準準直儀和已建立的聚焦頭,quDIS還為惡劣環境下的應用程序設計了特殊的頭。

用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計

鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準直頭

產品關鍵特性:

  • 信號穩定性:< 0.05nm

  • 絕對距離測量

  • 0.1——20m工作距離

  • 工作帶寬25kHz

  • 目標速度1m/s

  • 3個傳感頭,多設備同步

應用領域:

  • 干涉距離測量

  • 振動分析

  • 束線中斷補充

  • 間隙和邊緣測量

  • 環境振動分析

  • 位移臺精度評估


皮米精度位置測量儀參數列表:

干涉儀傳感頭
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW信號穩定性< 0.05nm
波長1535nm絕對距離穩定性<200nm
線寬<5MHz帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺設備同步低溫





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