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拉曼光譜成像系統

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滑動式二硫化鉬CVD制備設備

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滑動式二硫化鉬CVD制備設備,穩定可靠

所屬類別:材料分析設備 ? 拉曼光譜成像系統

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產品負責人:

姓名:賀工(Kevin)

電話:180 1976 2603

郵箱:chinan-he@wkbaza.com


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滑動式二硫化鉬CVD制備設備


一、 概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、  設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。
 三、  主要技術參數
硫粉預熱器 

型號:HTF-400C

工作溫度:350℃

MAX溫度:400℃

MAX升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲 

雙溫區硫化爐 

型號:HCVD-1200S

技術參數:額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

MAX溫度(℃):1200(1 hour)

持續工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1500mm

加熱區長度(mm):440mm

恒溫區長度(mm):200mm 

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲
供氣系統GMF3Z 

質量流量計重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2標定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據用戶要求定制)

準確度:±1.5%線性:±0.5~1.5%重復精度:±0.2%

響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa MAX壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數字顯示

工作環境溫度:5~45℃

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

缅甸锦利国际壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥:Φ6
低真空機組VAU-02 

技術參數:

空氣相對濕度≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

 功率:1千瓦

抽氣速率:4L\s

極限真空:4X10-2Pa

實驗真空度:1。0X10-1Pa

容油量:1。1L

進氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計



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產品標簽:二維材料, 二硫化鉬,CVD, 光電器件, 石墨烯, 材料制備

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